《开局手搓光刻机》转载请注明来源:泡书吧paoshuxs.com
王磊的行动,隐秘而致命。
他没有选择直接破坏设备那种低级手段,而是将目标锁定在了二维芯片量产线的核心——光刻机的曝光数据上。
通过收买了一个对薪资不满、且曾被赵刚批评过的光刻工艺工程师(我们暂且称他为张某),王磊获取了光刻机的部分操作权限和日志清除方法。
在一个深夜,张某利用值班的机会,按照王磊的指示,极其隐蔽地修改了某一关键掩膜版的曝光参数补偿值。这种修改非常微小,在单次曝光中几乎无法察觉,但会在后续的蚀刻和离子注入工艺中不断累积、放大误差,导致整批晶圆的良品率出现断崖式下跌,且原因难以追溯。
王磊的计划很恶毒:他不要一次性摧毁生产线,而是要制造一种“陆星辰团队技术不过关,良率无法稳定,之前提升只是运气”的假象。这足以动摇董事会和外界对“星河项目部”的信任,甚至可能借此剥夺陆星辰的控制权。
第二天,量产线如常启动。
最初几片晶圆的在线检测数据似乎并无明显异常。但随着加工的进行,中测环节开始反馈异常数据增多。
赵刚第一时间察觉到了不对劲。
“不对!这批次的核心区关键尺寸波动范围明显超出了控制线!”赵刚盯着实时数据屏幕,眉头紧锁,“工艺参数没有变动,环境稳定,怎么会这样?”
他立刻下令暂停该批次的生产,召集工艺工程师进行紧急排查。
然而,无论是检查设备状态,还是复核工艺配方,都没有发现任何明显问题。那个被修改的参数隐藏得很深,且其影响具有滞后性。
“难道是原材料批次问题?”老周提出了怀疑。
“立刻封存当前批次所有原材料和半成品,启用备用批次材料,再生产一小批进行对比验证!”赵刚果断下令。
整个量产线的气氛顿时紧张起来。良率爬坡到了最关键的百分之三十四冲百分之三十五的节骨眼,任何意外都可能是致命的。
消息很快传到了陆星辰那里。
他立刻赶到量产线区域,听取了赵刚的汇报。
“排查了所有明显可能,都找不到原因?”陆星辰面色凝重。直觉告诉他,这绝非简单的技术波动。
“是的,陆总,非常诡异。”赵刚语气沉重,“就像……就像有什么看不见的东西在干扰着工艺。”
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